全自(zì)動晶圓擴膜機(jī)産品說(sh'uō)明(míng)
AWE系列是(shì)專門(mén)用(yòng₩π≠↔)于晶圓、LED等切割後的(de)擴膜工(gōng★£'÷)序,配備PLC和(hé)觸摸屏控制(zhì)φ≤系統,可(kě)均勻的(de)擴張晶粒之間(jiān)的(de)間(jiān$✘π)距。
産品特點:
1.擴膜的(de)高(gāo)度和(hé)速度可(kě)直接在觸摸屏♣≥<上(shàng)設定;
2.工(gōng)作(zuò)盤具有(y✘σǒu)加熱(rè)功能(néng),有(yǒuΩ♣)助于膜的(de)延伸性;
3.調整工(gōng)作(zuò)盤上(shàng×±)升的(de)高(gāo)度,即可(kě)調整晶粒之間(jiān)的(de →β")間(jiān)距;
4.急停開(kāi)關;當設備出現(xiàn)δ₽™↕緊急情況下(xià),按此按鈕;
5.電(diàn)源開(kāi)關:按下©β(xià)“O”關閉電(diàn)源,按下(xià)“-”開(kāi♥£♦∏)啓電(diàn)源;
6.複位鍵;開(kāi)機(jī)後,必須↓♦♥&先按複位鍵,使設備各軸處于原點位置;
7.啓動鍵:全自(zì)動模式的(de)啓動鍵,與觸 ±₽ε摸屏全自(zì)動模式下(xià)的(de)啓動'λ€鍵作(zuò)用(yòng)一(yī)樣,圓周刀(dāo)自(zì)動圓切;
8.溫控器(qì):用(yòng)于設定台盤加熱(rè)溫φλ度;
9.觸摸顯示屏,用(yòng)于操作(zuò)機(jī)器(q↑÷≈ì)的(de)顯示屏
10.每小(xiǎo)時(shí)産能(néng): 60-90↑ 片
11.精度:同心圓±2MM
12.上(shàng)蓋闆下(xià)翻後自(zì)動鎖緊