産 品 說(shuō) 明(míng) 
特點：
1.支持多(duō)尺寸晶圓:3\4\5\✔"6\8\12英寸
2.設定參數(shù)均可(kě)調整
3.參數(shù)設定修改均可(kě)通(tōng)過觸∞ε÷±摸屏實現(xiàn)
4.客戶模式均可(kě)自(zì)由更改
5.工(gōng)作(zuò)盤轉速範圍：0-300"Ω∞€0轉/分(fēn)鐘(zhōng)
性能(néng)：
工(gōng)作(zuò)盤馬達   &nbs "₽≠p;     交流感應馬♦↕達
擺臂馬達     &n≥π ÷bsp;   &nb↑↓εsp; 交流伺服馬達
幹燥方式   &n∞λ↓✔bsp;    •​≠   旋轉
清洗方式   &✘α♠€nbsp;   &nbλ♣Ω‌sp;   二流體(tǐ)清洗
顯示   &nb₹ ★πsp;      >♦;    &↕♥¥∏nbsp; 5英寸觸摸屏，操作(zuò)/編∞£輯數(shù)據，顯示錯(cuò)誤信息等
操作(zuò)鍵    ∏∏≈    &&✔nbsp;    開​<≠"(kāi)始/停止，緊急停止 ‍×
電(diàn)源   &nbs§σp;      £♦•;      交$♠→流220-230伏特   &nbπ↔₩sp;  50/60赫茲 
壓縮空(kōng)氣   &nbs¶αp;    &n↓≠‍bsp;  0.45-0.65  &©σ☆; 兆帕