全自(zì)動晶圓清洗機(jī)
時(shí)間(jiān):2023-04-24浏覽量:190
産 品 說(shuō) 明(míng) 特點:1.支持多(duō)尺寸晶圓₩δ★:3\4\5\6\8\12英寸2.設定參數(shù)均可(kě)調整3.參數★₩≠↑(shù)設定修改均可(kě)通(tōng)過 Ω≥ 觸摸屏實現(xiàn)4.客戶模式均可(kě)自(zì)由更改5.÷↕工(gōng)作(zuò)盤轉速範圍:0-3000轉/分(fēn)鐘(§π≠₽zhōng)性能(néng):工(gōng)作&÷(zuò)盤馬達 交流感應馬達擺臂馬達 π>✔¶ 交流伺服馬達幹燥方式 ₹≥↔ 旋轉清洗方式 二流體(tǐ)清洗顯&∞β>示 …