自(zì)動晶圓貼膜機(jī)特點：

1. 人(rén)工(gōng)放(fàng)置wafer和(hé)框架；

2.自(zì)動貼膜，

3.自(zì)動圓周刀(dāo)割膜，

4.廢膜自(zì)動回收。

規格：

晶圓尺寸 :      &nε≈ bsp;     &nbα §sp;3’ 4’ 5’ 6’ 8’12’

晶圓規格 :    €α;     &nb™ε∞sp;   各種形狀晶圓

晶圓承載方式 :      接觸式真空(kōng)吸附承載

藍(lán)膜最大(dà)寬度 :    ©φ   265mm  ~  400mm

産量:      ★↕←;    &nb§β‌®sp;    ♠​ $   ≥ 90 pcs./hr.

機(jī)器(qì)尺寸 :      &nbσ♣>±sp; 1.m (長(cháng)) x 0.65m (寬) x 1.8m (高(gāo))

機(jī)器(qì)重量 :    &n₽₩≤¥bsp;      ≠©↑;  200kg

控制(zhì)單元:     &nb•∞sp;      ↓£÷$  Panasonic  PLC

電(diàn)壓:    &";    &nb®'sp;     ¥÷♠π; 220 VAC 50/60 Hz, 5A.

氣壓:      &₩∞☆nbsp;    ↑♣'☆;    &nbs↔≠γp; 5kgf/cm^2 dry air